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关于我们

致力于光伏和半(ban)导体装备技(ji)术的(de)投资(zi)、开发、应用和推广(guang)

公司简介

北京捷(jie)造光(guang)电技术(shu)有限公(gong)司成(cheng)立于2010年,位于北京亦(yi)庄经济(ji)技术(shu)开发(fa)(fa)区,公(gong)司面(mian)向(xiang)光(guang)伏和(he)半导体(ti)领域开发(fa)(fa)和(he)推广薄膜沉积工艺(yi)装备技术(shu),其中(zhong)包括在PVD(磁控(kong)溅射、有机及金(jin)属共蒸(zheng)发(fa)(fa)、反应离子(zi)沉积等(deng))、CVD(PECVD、LPCVD等(deng))和(he)ALD原(yuan)子(zi)层(ceng)沉积等(deng)薄膜工艺(yi)设备。

公司(si)开(kai)发(fa)的的专用部(bu)件和仪(yi)器,应(ying)用于光(guang)伏和半导体工艺(yi)(yi)设备,解决工艺(yi)(yi)制程中核心操作,这些部(bu)件包含等(deng)离(li)子(zi)体发(fa)生、溅(jian)射阴极、蒸发(fa)源、压力(li)控制阀(fa)、门阀(fa)、真空机械手(shou)、膜厚(hou)测量仪(yi)等(deng)。

我们的技术和服务

我(wo)们为大学(xue)实(shi)(shi)验(yan)室、科(ke)研机(ji)构、企业材料(liao)实(shi)(shi)验(yan)室提供标准6-12英寸PECVD、PVD等实(shi)(shi)验(yan)装备方案(an)(an);为生产(chan)企业提供量产(chan)PECVD、PVD以及核心部(bu)件(jian)的技术解决(jue)方案(an)(an)。

实验室工艺设备

单室/多(duo)室全(quan)自动PECVD平(ping)台,工件6-12英(ying)寸标准硅(gui)片,集(ji)成气路柜、真空机械手传输、氮气封闭(bi)环(huan)境片盒。

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量产设备技术

产能可(ke)达12000-24000pcs/h的量(liang)产PECVD和PVD产线(xian),兼容(rong)M6-M12整片/半片的HJT电(dian)池产线(xian)

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