部件产品

捷造的专用核心部件和(he)仪(yi)器，广泛应用于(yu)光伏(fu)和(he)半(ban)导体(ti)设备(bei)，用于(yu)解决工艺制程中核心操作(zuo)，这些(xie)部件包含等离子体(ti)发生、溅射阴极、蒸发源(yuan)、压(ya)力(li)控制阀(fa)、门阀(fa)、真空机械手、膜厚(hou)测量仪(yi)等。

压力控制阀

CBV系(xi)列型智能流导(dao)控制(zhi)阀(fa)是泵端压(ya)力控制(zhi)系(xi)统(tong)的核心(xin)单元，集成了蝶形流导(dao)阀(fa)门(men)、测量电路、闭环(huan)控制(zhi)器、通信和阀(fa)门(men)驱动(dong)电路。

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传输阀

紧凑型高(gao)真空传输阀，用于(yu)产(chan)线Load/Lock和(he)隔离通道。

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离子源和离子枪

空心阴极和热阴极离(li)子(zi)源，最大电流50-150A，中低(di)压工作电压，可(ke)用于离(li)子(zi)束加热、反应离(li)子(zi)辅助沉积等工艺制程

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磁控溅射阴极

靶材2英(ying)寸-4英(ying)寸的标准磁控溅(jian)射(she)阴极，超高真空(kong)、可(ke)调节(jie)的磁场平衡(heng)和强度(du)，DC/RF兼容，可(ke)用(yong)于溅(jian)射(she)和共溅(jian)射(she)系统

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旋转阴极驱动

长寿命大功率旋转阴极驱动(dong)端，侧装和(he)吊装结构，陶瓷水密(mi)封，大面积浮动(dong)电刷，最大功率60kVA或驱动(dong)2.5米(mi)靶材。用于GW级光伏PVD产线。

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共蒸发源

安装于(yu)标准(zhun)450平台(tai)的(de)的(de)多蒸发(fa)(fa)源(yuan)(yuan)共沉积模块，2-6个(ge)独立(li)蒸发(fa)(fa)源(yuan)(yuan)，独立(li)气(qi)动挡板，直流(liu)闭环电流(liu)控制。用于(yu)OLED/钙钛矿(kuang)材(cai)料研究。

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研发设备

大(da)学实(shi)验室、科研机构、企业材料实(shi)验室常用薄膜沉(chen)积设(she)备，主(zhu)要有(you)6-12英寸PECVD、450标准(zhun)平台(tai)PVD等实(shi)验装备。

JPE系列6"-12"PECVD

单室/多室全自动(dong)PECVD平(ping)台，工件6-12英寸标(biao)准硅片，集成气路柜、真空(kong)机械手传输、氮气封闭环(huan)境(jing)片盒。

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JSP系列300mm PVD

小型Inline PVD，单端/双(shuang)端接口，兼(jian)容平面(mian)溅射(she)阴(yin)极(ji)和(he)空心阴(yin)极(ji)离子(zi)镀

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HCD450空心阴极离子镀

钙钛矿背电(dian)极(ji)TCO低损伤解(jie)决方案，反(fan)应沉积优质金属氧化物

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